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| MOQ: | 1개 |
| 가격: | US $ 15/PC |
| 표준 포장: | 실린더/탱크 |
| 배송 기간: | 15일 |
| 결제 방법: | L/C, T/T |
| 공급 능력: | 연간 200 톤 |
울프렌 헥사플루오라이드 (WF6) 는 울프렌과 플루오르 원자로 구성된 화학 화합물이다.방온에서 무색 가스이며 주로 반도체 산업에서 화학 증기 퇴적 (CVD) 과정을 통해 텅스텐의 얇은 필름을 퇴적하는 데 사용됩니다..
텅스텐 헥사플루오라이드 가스에 대한 몇 가지 핵심 사항은 다음과 같습니다.
기본 정보
| 모델 번호 | WF6 | 운송 패키지 | 실린더 |
| 사양 | 10L/15kg | 상표 | CMC |
| 원산지 | 수저우, 중국 | HS 코드 | 2812190091 |
| 생산용량 | 200t/년 |
| 테스트 항목 | 단위 | 품질 요구 사항 | 시험 결과 |
| CF4 | ppm | <0.5 | <0.01 |
| O2 | ppm | <0.5 | <0.01 |
| N2 | ppm | < 1 | 0.03 |
| CO | ppm | <0.5 | <0.02 |
| CO2 | ppm | <0.5 | <0.01 |
| SiF4 | ppm | <0.5 | <0.1 |
| SF6 | ppm | <0.5 | <0.1 |
| HF | ppm | <5 | 0.19 |
| 알 | ppb | ≤10 | <0.020 |
| 그 외 | ppb | ≤10 | <0.001 |
| B | ppb | ≤10 | <0.005 |
| CA | ppb | ≤5 | <0.200 |
| Cd | ppb | ≤2 | <0.001 |
| Cr | ppb | ≤10 | <0.020 |
| 페 | ppb | ≤10 | <0.007 |
| K | ppb | ≤5 | <0.100 |
| 원 | ppb | ≤10 | <0.001 |
| 네 | ppb | ≤5 | <0.040 |
| 제3회 | ppb | ≤0.1 | <0.001 |
| 티 | ppb | ≤10 | <0.002 |
| 리 | ppb | ≤10 | <0.002 |
| U | ppb | ≤0.05 | <0.001 |
| Zn | ppb | ≤10 | <0.005 |
| 네 | ppb | ≤10 | <0.100 |
| Pb | ppb | ≤10 | <0.001 |
| P | ppb | ≤2 | <0.300 |
| Mg | ppb | ≤10 | <0.020 |
| 니 | ppb | ≤20 | <0.030 |
| 큐 | ppb | ≤5 | <0.005 |
| 모 | ppb | ≤10 | <0.001 |
| 다른 금속의 누적 불순물 | ppb | ≤ 500 | <0.0010 |
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| MOQ: | 1개 |
| 가격: | US $ 15/PC |
| 표준 포장: | 실린더/탱크 |
| 배송 기간: | 15일 |
| 결제 방법: | L/C, T/T |
| 공급 능력: | 연간 200 톤 |
울프렌 헥사플루오라이드 (WF6) 는 울프렌과 플루오르 원자로 구성된 화학 화합물이다.방온에서 무색 가스이며 주로 반도체 산업에서 화학 증기 퇴적 (CVD) 과정을 통해 텅스텐의 얇은 필름을 퇴적하는 데 사용됩니다..
텅스텐 헥사플루오라이드 가스에 대한 몇 가지 핵심 사항은 다음과 같습니다.
기본 정보
| 모델 번호 | WF6 | 운송 패키지 | 실린더 |
| 사양 | 10L/15kg | 상표 | CMC |
| 원산지 | 수저우, 중국 | HS 코드 | 2812190091 |
| 생산용량 | 200t/년 |
| 테스트 항목 | 단위 | 품질 요구 사항 | 시험 결과 |
| CF4 | ppm | <0.5 | <0.01 |
| O2 | ppm | <0.5 | <0.01 |
| N2 | ppm | < 1 | 0.03 |
| CO | ppm | <0.5 | <0.02 |
| CO2 | ppm | <0.5 | <0.01 |
| SiF4 | ppm | <0.5 | <0.1 |
| SF6 | ppm | <0.5 | <0.1 |
| HF | ppm | <5 | 0.19 |
| 알 | ppb | ≤10 | <0.020 |
| 그 외 | ppb | ≤10 | <0.001 |
| B | ppb | ≤10 | <0.005 |
| CA | ppb | ≤5 | <0.200 |
| Cd | ppb | ≤2 | <0.001 |
| Cr | ppb | ≤10 | <0.020 |
| 페 | ppb | ≤10 | <0.007 |
| K | ppb | ≤5 | <0.100 |
| 원 | ppb | ≤10 | <0.001 |
| 네 | ppb | ≤5 | <0.040 |
| 제3회 | ppb | ≤0.1 | <0.001 |
| 티 | ppb | ≤10 | <0.002 |
| 리 | ppb | ≤10 | <0.002 |
| U | ppb | ≤0.05 | <0.001 |
| Zn | ppb | ≤10 | <0.005 |
| 네 | ppb | ≤10 | <0.100 |
| Pb | ppb | ≤10 | <0.001 |
| P | ppb | ≤2 | <0.300 |
| Mg | ppb | ≤10 | <0.020 |
| 니 | ppb | ≤20 | <0.030 |
| 큐 | ppb | ≤5 | <0.005 |
| 모 | ppb | ≤10 | <0.001 |
| 다른 금속의 누적 불순물 | ppb | ≤ 500 | <0.0010 |
