MOQ: | 1개 |
가격: | US $ 15/PC |
표준 포장: | 실린더/탱크 |
배송 기간: | 15일 |
결제 방법: | L/C, T/T |
공급 능력: | 연간 200 톤 |
WF6는 텅프렌 헥사플루오라이드 (WF6 tungsten hexafluoride) 를 가리키며, 이것은 6개의 플루오린 원자와 결합된 1개의 텅프렌 원자로 구성된 화학 화합물이다.
테스트 항목 | 단위 | 품질 요구 사항 | 시험 결과 |
CF4 | ppm | <0.5 | <0.01 |
O2 | ppm | <0.5 | <0.01 |
N2 | ppm | < 1 | 0.03 |
CO | ppm | <0.5 | <0.02 |
CO2 | ppm | <0.5 | <0.01 |
SiF4 | ppm | <0.5 | <0.1 |
SF6 | ppm | <0.5 | <0.1 |
HF | ppm | <5 | 0.19 |
알 | ppb | ≤10 | <0.020 |
그 외 | ppb | ≤10 | <0.001 |
B | ppb | ≤10 | <0.005 |
CA | ppb | ≤5 | <0.200 |
Cd | ppb | ≤2 | <0.001 |
Cr | ppb | ≤10 | <0.020 |
페 | ppb | ≤10 | <0.007 |
K | ppb | ≤5 | <0.100 |
원 | ppb | ≤10 | <0.001 |
네 | ppb | ≤5 | <0.040 |
제3회 | ppb | ≤0.1 | <0.001 |
티 | ppb | ≤10 | <0.002 |
리 | ppb | ≤10 | <0.002 |
U | ppb | ≤0.05 | <0.001 |
Zn | ppb | ≤10 | <0.005 |
네 | ppb | ≤10 | <0.100 |
Pb | ppb | ≤10 | <0.001 |
P | ppb | ≤2 | <0.300 |
Mg | ppb | ≤10 | <0.020 |
니 | ppb | ≤20 | <0.030 |
큐 | ppb | ≤5 | <0.005 |
모 | ppb | ≤10 | <0.001 |
다른 금속의 누적 불순물 | ppb | ≤ 500 | <0.0010 |
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MOQ: | 1개 |
가격: | US $ 15/PC |
표준 포장: | 실린더/탱크 |
배송 기간: | 15일 |
결제 방법: | L/C, T/T |
공급 능력: | 연간 200 톤 |
WF6는 텅프렌 헥사플루오라이드 (WF6 tungsten hexafluoride) 를 가리키며, 이것은 6개의 플루오린 원자와 결합된 1개의 텅프렌 원자로 구성된 화학 화합물이다.
테스트 항목 | 단위 | 품질 요구 사항 | 시험 결과 |
CF4 | ppm | <0.5 | <0.01 |
O2 | ppm | <0.5 | <0.01 |
N2 | ppm | < 1 | 0.03 |
CO | ppm | <0.5 | <0.02 |
CO2 | ppm | <0.5 | <0.01 |
SiF4 | ppm | <0.5 | <0.1 |
SF6 | ppm | <0.5 | <0.1 |
HF | ppm | <5 | 0.19 |
알 | ppb | ≤10 | <0.020 |
그 외 | ppb | ≤10 | <0.001 |
B | ppb | ≤10 | <0.005 |
CA | ppb | ≤5 | <0.200 |
Cd | ppb | ≤2 | <0.001 |
Cr | ppb | ≤10 | <0.020 |
페 | ppb | ≤10 | <0.007 |
K | ppb | ≤5 | <0.100 |
원 | ppb | ≤10 | <0.001 |
네 | ppb | ≤5 | <0.040 |
제3회 | ppb | ≤0.1 | <0.001 |
티 | ppb | ≤10 | <0.002 |
리 | ppb | ≤10 | <0.002 |
U | ppb | ≤0.05 | <0.001 |
Zn | ppb | ≤10 | <0.005 |
네 | ppb | ≤10 | <0.100 |
Pb | ppb | ≤10 | <0.001 |
P | ppb | ≤2 | <0.300 |
Mg | ppb | ≤10 | <0.020 |
니 | ppb | ≤20 | <0.030 |
큐 | ppb | ≤5 | <0.005 |
모 | ppb | ≤10 | <0.001 |
다른 금속의 누적 불순물 | ppb | ≤ 500 | <0.0010 |
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