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| MOQ: | 1 킬로그램 |
| 가격: | US $60/kg |
| 표준 포장: | 실린더/탱크 |
| 배송 기간: | 15일 |
| 결제 방법: | L/C, T/T |
| 공급 능력: | 20000 톤 / 년 |
질소 삼중화수소 (nitrogen trifluoride, NF3) 는 질소 원자 하나와 플루오르 원자 세 개로 구성된 화학 화합물이다.질소 삼화화물 에 관한 몇 가지 핵심 사항 은 다음 과 같습니다.:
생산: NF3는 암모니아 (NH3) 와 플루오르 가스 (F2) 의 반응으로 생성될 수 있다. 반응은 일반적으로 알루미나 또는 실리카와 같은 촉매의 현장에서 이루어진다.높은 온도에서.
성질: NF3는 방온과 압력에서 안정적인 기체이다. 끓는점은 -129 °C (-204 °F) 와 녹는점은 -206 °C (-339 °F) 이다. 기체는 불화성이 없다.하지만 그것은 연소를 지원할 수 있습니다NF3는 물과 일부 유기 용매에 녹습니다.
용도: 질소 트리플루오라이드의 주요 용도는 반도체 산업에서 얇은 필름 퇴적물을 제거하는 청소제로 사용됩니다.그것은 일반적으로 화학 증기 퇴적 (CVD) 챔버와 같은 설비를 청소하는 데 사용됩니다., 플라즈마 에치 시스템 및 스프터링 장비. NF3는 높은 에치 선택성과 실리콘과의 낮은 반응성으로 인해이 응용 프로그램에 선호됩니다.
환경적 영향: NF3는 고온 온실 가스 (GWP) 를 가진 강력한 온실 가스입니다. 100 년 동안 탄소 이산화 (CO2) 보다 약 17,200 배의 GWP를 가지고 있습니다.다른 온실가스들에 비해 대기 중 농도가 상대적으로 낮지만, 그 긴 대기 수명은 지구 온난화에 미치는 중요한 영향에 기여합니다.
안전성 고려 사항: 질소 삼화화물 은 잘못 처리 하거나 대량 으로 방출 될 때 위험 할 수 있다. 이 물질 은 산화물 인데 감소 물질 이나 연화 물질 과 격렬 하게 반응 할 수 있다.NF3 가스는 또한 호흡기 기관에 자극을 주며 눈과 피부에 자극을 줄 수 있습니다.적당한 환기와 개인 보호 장비를 포함한 적절한 안전 예방 조치가 NF3와 작업 할 때 지켜져야합니다.
- 네
기본 정보
| 분자 무게 | 147.05 | 밀도 | 2.96Kg/m3 |
| 녹는점 | -206.79oC | 끓는점 | -129.0oC |
| 외모 | 무색, 무취 | 아니 | 2451 |
| DOT 클래스 | 2.2&5.1 | 밸브 | 디스640 |
| 실린더 표준 | GB/ISO/DOT | 실린더 압력 | 15Mpa/20Mpa |
| 운송 패키지 | 47L/440L | 사양 | 990.99%,99996% |
| 상표 | CMC | 원산지 | 중국 |
| HS 코드 | 28129011 | 생산용량 | 5000톤/년 |
스펙트럼
| 사양 | 회사 표준 |
| NF3 | ≥ 99.996% |
| CF4 | ≤20ppm |
| N2 | ≤5ppm |
| O2+AR | ≤3ppm |
| CO | ≤1ppm |
| CO2 | ≤0.5ppm |
| N2O | ≤1ppm |
| SF6 | ≤2ppm |
| 수분 | ≤1ppm |
| HF로 표현 | ≤1ppm |
자세한 사진
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| MOQ: | 1 킬로그램 |
| 가격: | US $60/kg |
| 표준 포장: | 실린더/탱크 |
| 배송 기간: | 15일 |
| 결제 방법: | L/C, T/T |
| 공급 능력: | 20000 톤 / 년 |
질소 삼중화수소 (nitrogen trifluoride, NF3) 는 질소 원자 하나와 플루오르 원자 세 개로 구성된 화학 화합물이다.질소 삼화화물 에 관한 몇 가지 핵심 사항 은 다음 과 같습니다.:
생산: NF3는 암모니아 (NH3) 와 플루오르 가스 (F2) 의 반응으로 생성될 수 있다. 반응은 일반적으로 알루미나 또는 실리카와 같은 촉매의 현장에서 이루어진다.높은 온도에서.
성질: NF3는 방온과 압력에서 안정적인 기체이다. 끓는점은 -129 °C (-204 °F) 와 녹는점은 -206 °C (-339 °F) 이다. 기체는 불화성이 없다.하지만 그것은 연소를 지원할 수 있습니다NF3는 물과 일부 유기 용매에 녹습니다.
용도: 질소 트리플루오라이드의 주요 용도는 반도체 산업에서 얇은 필름 퇴적물을 제거하는 청소제로 사용됩니다.그것은 일반적으로 화학 증기 퇴적 (CVD) 챔버와 같은 설비를 청소하는 데 사용됩니다., 플라즈마 에치 시스템 및 스프터링 장비. NF3는 높은 에치 선택성과 실리콘과의 낮은 반응성으로 인해이 응용 프로그램에 선호됩니다.
환경적 영향: NF3는 고온 온실 가스 (GWP) 를 가진 강력한 온실 가스입니다. 100 년 동안 탄소 이산화 (CO2) 보다 약 17,200 배의 GWP를 가지고 있습니다.다른 온실가스들에 비해 대기 중 농도가 상대적으로 낮지만, 그 긴 대기 수명은 지구 온난화에 미치는 중요한 영향에 기여합니다.
안전성 고려 사항: 질소 삼화화물 은 잘못 처리 하거나 대량 으로 방출 될 때 위험 할 수 있다. 이 물질 은 산화물 인데 감소 물질 이나 연화 물질 과 격렬 하게 반응 할 수 있다.NF3 가스는 또한 호흡기 기관에 자극을 주며 눈과 피부에 자극을 줄 수 있습니다.적당한 환기와 개인 보호 장비를 포함한 적절한 안전 예방 조치가 NF3와 작업 할 때 지켜져야합니다.
- 네
기본 정보
| 분자 무게 | 147.05 | 밀도 | 2.96Kg/m3 |
| 녹는점 | -206.79oC | 끓는점 | -129.0oC |
| 외모 | 무색, 무취 | 아니 | 2451 |
| DOT 클래스 | 2.2&5.1 | 밸브 | 디스640 |
| 실린더 표준 | GB/ISO/DOT | 실린더 압력 | 15Mpa/20Mpa |
| 운송 패키지 | 47L/440L | 사양 | 990.99%,99996% |
| 상표 | CMC | 원산지 | 중국 |
| HS 코드 | 28129011 | 생산용량 | 5000톤/년 |
스펙트럼
| 사양 | 회사 표준 |
| NF3 | ≥ 99.996% |
| CF4 | ≤20ppm |
| N2 | ≤5ppm |
| O2+AR | ≤3ppm |
| CO | ≤1ppm |
| CO2 | ≤0.5ppm |
| N2O | ≤1ppm |
| SF6 | ≤2ppm |
| 수분 | ≤1ppm |
| HF로 표현 | ≤1ppm |
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