|
| MOQ: | 1개 |
| 가격: | US $ 15/PC |
| 표준 포장: | 실린더/탱크 |
| 배송 기간: | 15일 |
| 결제 방법: | L/C, T/T |
| 공급 능력: | 연간 200 톤 |
텅스텐 헥사플루오라이드 (WF6) 는 텅스텐 원자 1개와 플루오르 원자 6개로 결합된 화학 화합물이다. 방온과 대기 압력에서 휘발성, 무색 가스이다.WF6는 강한 산화 성질로 알려져 있으며 주로 화학 증기 퇴적 (CVD) 프로세스에 반도체 산업에서 사용됩니다..
텅스텐 헥사플루오라이드 가스에 대한 몇 가지 핵심 사항은 다음과 같습니다.
WF6의 위험성 때문에 통제 된 실험실 또는 산업 환경에서 훈련 된 전문가에게 맡겨져야한다는 점에 유의해야합니다.
기본 정보
| 모델 번호 | WF6 | 운송 패키지 | 실린더 |
| 사양 | 10L/15kg | 상표 | CMC |
| 원산지 | 수저우, 중국 | HS 코드 | 2812190091 |
| 생산용량 | 200t/년 |
| 테스트 항목 | 단위 | 품질 요구 사항 | 시험 결과 |
| CF4 | ppm | <0.5 | <0.01 |
| O2 | ppm | <0.5 | <0.01 |
| N2 | ppm | < 1 | 0.03 |
| CO | ppm | <0.5 | <0.02 |
| CO2 | ppm | <0.5 | <0.01 |
| SiF4 | ppm | <0.5 | <0.1 |
| SF6 | ppm | <0.5 | <0.1 |
| HF | ppm | <5 | 0.19 |
| 알 | ppb | ≤10 | <0.020 |
| 그 외 | ppb | ≤10 | <0.001 |
| B | ppb | ≤10 | <0.005 |
| CA | ppb | ≤5 | <0.200 |
| Cd | ppb | ≤2 | <0.001 |
| Cr | ppb | ≤10 | <0.020 |
| 페 | ppb | ≤10 | <0.007 |
| K | ppb | ≤5 | <0.100 |
| 원 | ppb | ≤10 | <0.001 |
| 네 | ppb | ≤5 | <0.040 |
| 제3회 | ppb | ≤0.1 | <0.001 |
| 티 | ppb | ≤10 | <0.002 |
| 리 | ppb | ≤10 | <0.002 |
| U | ppb | ≤0.05 | <0.001 |
| Zn | ppb | ≤10 | <0.005 |
| 네 | ppb | ≤10 | <0.100 |
| Pb | ppb | ≤10 | <0.001 |
| P | ppb | ≤2 | <0.300 |
| Mg | ppb | ≤10 | <0.020 |
| 니 | ppb | ≤20 | <0.030 |
| 큐 | ppb | ≤5 | <0.005 |
| 모 | ppb | ≤10 | <0.001 |
| 다른 금속의 누적 불순물 | ppb | ≤ 500 | <0.0010 |
상세 한 사진
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| MOQ: | 1개 |
| 가격: | US $ 15/PC |
| 표준 포장: | 실린더/탱크 |
| 배송 기간: | 15일 |
| 결제 방법: | L/C, T/T |
| 공급 능력: | 연간 200 톤 |
텅스텐 헥사플루오라이드 (WF6) 는 텅스텐 원자 1개와 플루오르 원자 6개로 결합된 화학 화합물이다. 방온과 대기 압력에서 휘발성, 무색 가스이다.WF6는 강한 산화 성질로 알려져 있으며 주로 화학 증기 퇴적 (CVD) 프로세스에 반도체 산업에서 사용됩니다..
텅스텐 헥사플루오라이드 가스에 대한 몇 가지 핵심 사항은 다음과 같습니다.
WF6의 위험성 때문에 통제 된 실험실 또는 산업 환경에서 훈련 된 전문가에게 맡겨져야한다는 점에 유의해야합니다.
기본 정보
| 모델 번호 | WF6 | 운송 패키지 | 실린더 |
| 사양 | 10L/15kg | 상표 | CMC |
| 원산지 | 수저우, 중국 | HS 코드 | 2812190091 |
| 생산용량 | 200t/년 |
| 테스트 항목 | 단위 | 품질 요구 사항 | 시험 결과 |
| CF4 | ppm | <0.5 | <0.01 |
| O2 | ppm | <0.5 | <0.01 |
| N2 | ppm | < 1 | 0.03 |
| CO | ppm | <0.5 | <0.02 |
| CO2 | ppm | <0.5 | <0.01 |
| SiF4 | ppm | <0.5 | <0.1 |
| SF6 | ppm | <0.5 | <0.1 |
| HF | ppm | <5 | 0.19 |
| 알 | ppb | ≤10 | <0.020 |
| 그 외 | ppb | ≤10 | <0.001 |
| B | ppb | ≤10 | <0.005 |
| CA | ppb | ≤5 | <0.200 |
| Cd | ppb | ≤2 | <0.001 |
| Cr | ppb | ≤10 | <0.020 |
| 페 | ppb | ≤10 | <0.007 |
| K | ppb | ≤5 | <0.100 |
| 원 | ppb | ≤10 | <0.001 |
| 네 | ppb | ≤5 | <0.040 |
| 제3회 | ppb | ≤0.1 | <0.001 |
| 티 | ppb | ≤10 | <0.002 |
| 리 | ppb | ≤10 | <0.002 |
| U | ppb | ≤0.05 | <0.001 |
| Zn | ppb | ≤10 | <0.005 |
| 네 | ppb | ≤10 | <0.100 |
| Pb | ppb | ≤10 | <0.001 |
| P | ppb | ≤2 | <0.300 |
| Mg | ppb | ≤10 | <0.020 |
| 니 | ppb | ≤20 | <0.030 |
| 큐 | ppb | ≤5 | <0.005 |
| 모 | ppb | ≤10 | <0.001 |
| 다른 금속의 누적 불순물 | ppb | ≤ 500 | <0.0010 |
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