|
| MOQ: | 1개 |
| 가격: | US $ 15/PC |
| 표준 포장: | 실린더/탱크 |
| 배송 기간: | 15일 |
| 결제 방법: | L/C, T/T |
| 공급 능력: | 연간 200 톤 |
텅스텐 헥사플루오라이드 (WF6) 는 텅스텐 원자 1개와 플루오린 원자 6개로 구성된 화학 화합물이다. 무색, 부식성 기체로 날카로운 냄새가 있다.텅프렌 헥사플루오라이드는 반응성이 매우 높고 물이나 공기 안의 수분과 격렬하게 반응할 수 있습니다.독성 수소 플루오라이드 가스를 방출합니다.
울프스탄 헥사플루오라이드의 응용 분야는 반도체 제조 공정에서 울프스탄 필름을 퇴적하는 전초 물질로 사용하는 것을 포함한다.그것은 일반적으로 화학 증기 퇴적 (CVD) 기술에서 다양한 응용을위한 텅스텐의 얇은 필름을 만드는 데 사용됩니다., 예를 들어 통합 회로 제조 및 얇은 필름 코팅. 텅스텐 헥사플루오라이드는 높은 증기 압력으로 인해 이러한 프로세스에서 선호되며 효율적인 퇴적을 허용합니다.
그러나 울프레멘 헥사플루오라이드를 반응성과 독성성 때문에 조심스럽게 취급하고 보관하는 것이 중요합니다. 적절한 안전 조치,적절한 보호장비와 처리 절차를 사용하는 것을 포함합니다.이 화합물과 함께 작업 할 때 준수해야합니다.
| 테스트 항목 | 단위 | 품질 요구 사항 | 시험 결과 |
| CF4 | ppm | <0.5 | <0.01 |
| O2 | ppm | <0.5 | <0.01 |
| N2 | ppm | < 1 | 0.03 |
| CO | ppm | <0.5 | <0.02 |
| CO2 | ppm | <0.5 | <0.01 |
| SiF4 | ppm | <0.5 | <0.1 |
| SF6 | ppm | <0.5 | <0.1 |
| HF | ppm | <5 | 0.19 |
| 알 | ppb | ≤10 | <0.020 |
| 그 외 | ppb | ≤10 | <0.001 |
| B | ppb | ≤10 | <0.005 |
| CA | ppb | ≤5 | <0.200 |
| Cd | ppb | ≤2 | <0.001 |
| Cr | ppb | ≤10 | <0.020 |
| 페 | ppb | ≤10 | <0.007 |
| K | ppb | ≤5 | <0.100 |
| 원 | ppb | ≤10 | <0.001 |
| 네 | ppb | ≤5 | <0.040 |
| 제3회 | ppb | ≤0.1 | <0.001 |
| 티 | ppb | ≤10 | <0.002 |
| 리 | ppb | ≤10 | <0.002 |
| U | ppb | ≤0.05 | <0.001 |
| Zn | ppb | ≤10 | <0.005 |
| 네 | ppb | ≤10 | <0.100 |
| Pb | ppb | ≤10 | <0.001 |
| P | ppb | ≤2 | <0.300 |
| Mg | ppb | ≤10 | <0.020 |
| 니 | ppb | ≤20 | <0.030 |
| 큐 | ppb | ≤5 | <0.005 |
| 모 | ppb | ≤10 | <0.001 |
| 다른 금속의 누적 불순물 | ppb | ≤ 500 | <0.0010 |
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| MOQ: | 1개 |
| 가격: | US $ 15/PC |
| 표준 포장: | 실린더/탱크 |
| 배송 기간: | 15일 |
| 결제 방법: | L/C, T/T |
| 공급 능력: | 연간 200 톤 |
텅스텐 헥사플루오라이드 (WF6) 는 텅스텐 원자 1개와 플루오린 원자 6개로 구성된 화학 화합물이다. 무색, 부식성 기체로 날카로운 냄새가 있다.텅프렌 헥사플루오라이드는 반응성이 매우 높고 물이나 공기 안의 수분과 격렬하게 반응할 수 있습니다.독성 수소 플루오라이드 가스를 방출합니다.
울프스탄 헥사플루오라이드의 응용 분야는 반도체 제조 공정에서 울프스탄 필름을 퇴적하는 전초 물질로 사용하는 것을 포함한다.그것은 일반적으로 화학 증기 퇴적 (CVD) 기술에서 다양한 응용을위한 텅스텐의 얇은 필름을 만드는 데 사용됩니다., 예를 들어 통합 회로 제조 및 얇은 필름 코팅. 텅스텐 헥사플루오라이드는 높은 증기 압력으로 인해 이러한 프로세스에서 선호되며 효율적인 퇴적을 허용합니다.
그러나 울프레멘 헥사플루오라이드를 반응성과 독성성 때문에 조심스럽게 취급하고 보관하는 것이 중요합니다. 적절한 안전 조치,적절한 보호장비와 처리 절차를 사용하는 것을 포함합니다.이 화합물과 함께 작업 할 때 준수해야합니다.
| 테스트 항목 | 단위 | 품질 요구 사항 | 시험 결과 |
| CF4 | ppm | <0.5 | <0.01 |
| O2 | ppm | <0.5 | <0.01 |
| N2 | ppm | < 1 | 0.03 |
| CO | ppm | <0.5 | <0.02 |
| CO2 | ppm | <0.5 | <0.01 |
| SiF4 | ppm | <0.5 | <0.1 |
| SF6 | ppm | <0.5 | <0.1 |
| HF | ppm | <5 | 0.19 |
| 알 | ppb | ≤10 | <0.020 |
| 그 외 | ppb | ≤10 | <0.001 |
| B | ppb | ≤10 | <0.005 |
| CA | ppb | ≤5 | <0.200 |
| Cd | ppb | ≤2 | <0.001 |
| Cr | ppb | ≤10 | <0.020 |
| 페 | ppb | ≤10 | <0.007 |
| K | ppb | ≤5 | <0.100 |
| 원 | ppb | ≤10 | <0.001 |
| 네 | ppb | ≤5 | <0.040 |
| 제3회 | ppb | ≤0.1 | <0.001 |
| 티 | ppb | ≤10 | <0.002 |
| 리 | ppb | ≤10 | <0.002 |
| U | ppb | ≤0.05 | <0.001 |
| Zn | ppb | ≤10 | <0.005 |
| 네 | ppb | ≤10 | <0.100 |
| Pb | ppb | ≤10 | <0.001 |
| P | ppb | ≤2 | <0.300 |
| Mg | ppb | ≤10 | <0.020 |
| 니 | ppb | ≤20 | <0.030 |
| 큐 | ppb | ≤5 | <0.005 |
| 모 | ppb | ≤10 | <0.001 |
| 다른 금속의 누적 불순물 | ppb | ≤ 500 | <0.0010 |
